臭氧發生器以臭氧為氧化劑將煙氣中不易溶于水的NO氧化成更高價的氮氧化物，然后以相應的吸收液對煙氣進行噴淋洗滌，實現煙氣的脫硝處理。本技術脫硝效率高(90%)，對煙氣溫度沒有要求，可作為其他脫硝技術的補充，達到深度脫硝。
    
    臭氧氧化吸收脫硝法以臭氧為氧化劑將煙氣中不易溶于水的NO氧化成NO2或更高價的氮氧化物，然后以相應的吸收液(水、堿溶液、酸溶液或金屬絡合物溶液等)對煙氣進行噴淋洗滌，使氣相中的氮氧化物轉移到液相中，實現煙氣的脫硝處理。
    
    經過氧化后的煙氣在洗滌塔中主要發生如下反應：
    
    NO2+H2O→HNO3+NO
    
    N2O5+H2O→HNO3
    
    NO+NO2+2NaOH→2NaNO2+H2O
    
    全套臭氧氧化脫硝工藝系統簡單，容易在原有脫硫塔基礎上改造并實現脫硫脫硝同時進行;脫硝效率高(可達90%以上);根據煙氣中氮氧化物的實時監測，可實現氧化劑(臭氧)投加量的精確控制，使系統的運行效率不受鍋爐運行狀態影響;系統運行溫度低，可實現低溫脫硝處理;系統運行效率不隨運行時間增加而下降，大大減少脫硝系統的停機檢修時間;臭氧的氧化能力也能實現對煙氣中其它有害成分(如汞)的氧化脫除，能滿足將來越來越嚴的環保要求。